FS800 器件参数分析仪
FS800器件参数分析仪是概伦电子的新一代半导体器件电学特性分析设备。
采用自主研发的测试硬件架构和数据总线,支持包括高精度SMU在内的多种自研测试模块,功能全面,配置灵活,扩展性强。
在一个FS800系统中几乎可完成所有半导体器件的电性表征,支持电流电压(IV)测试、电容电压(CV)测试、脉冲式IV测试、任意线性波形发生与测量、低频噪声测试、高速波形发生与釆集测试等能力。
采用灵活的模块化体系结构,在同一机箱内可同时安装高精度SMU和低漏电矩阵开关模块,在单台台式设备内即可实现晶圆级器件电性参数的自动化测试。
直观的18.5英寸触摸屏界面。
内置电性参数测试软件LabExpress提供丰富的测试预设和强大的数据处理功能,支持脚本化编程平台,可以灵活实现自定义算法和快速扩展。
广泛应用于各种半导体器件、LED材料、二维材料器件、金属材料、新型先进材料与器件测试、器件可靠性等研究领域